发明名称 Method of manufacturing semiconductor devices
摘要
申请公布号 EP0720212(B1) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 EP19950120252 申请日期 1995.12.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 YAHIRO, KAZUYUKI
分类号 C30B25/16;C23C16/40;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/00;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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