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发明名称 WAFER LEVEL BURN-IN AND TEST THERMAL CHUCK AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1123639(A2) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 EP19990949776 申请日期 1999.09.20
申请人 AEHR TEST SYSTEMS, INC. 发明人 ANDBERG, JOHN, W.
分类号 G01R31/26;H05B3/68;B23B5/22;C23C16/00;G01R31/30;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/683;H01T23/00;H05B3/44;(IPC1-7):H05B3/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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