| 发明名称 | 含预定张力的膜的转换器的制造方法 | ||
| 摘要 | 含预定张力膜(11)的转换器的制造方法。在转换器基本结构制成后,调整膜片使之具有预定张力,此张力最好较低,以便获得较高的灵敏度。公开了两个实施方案。一种方法包括加热转换器,使之高于固定膜片的材料(12,14)的玻璃转化温度。另一种包括测量膜片的实际张力,可用于计算膜片厚度的调整量以达到要求的张力。 | ||
| 申请公布号 | CN1308832A | 申请公布日期 | 2001.08.15 |
| 申请号 | CN99808419.0 | 申请日期 | 1999.06.10 |
| 申请人 | 微电子公司 | 发明人 | 马西尔斯·穆伦伯恩;皮尔敏·罗姆巴奇 |
| 分类号 | H04R31/00 | 主分类号 | H04R31/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种制造具有膜片(11)和基片(10)的微型机加工的转换器的方法，其中，膜(11)保持在相对基片(10)的预定位置上并隔开；在这个位置上，膜片(11)处于平衡状态并具有预定张力使膜片(11)在平衡位置附近运动。该方法包括以下步骤：提供基片(10)，提供保持在相对于基片(10)预定位置上的膜片(11)，以及在预定位置上，调节膜片(11)以获得预定张力。 | ||
| 地址 | 丹麦罗斯基勒 | ||