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发明名称 TARGET FÜR DIE KATHODENZERSTÄUBUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN TARGETS
摘要
申请公布号 AT204029(T) 申请公布日期 2001.08.15
申请号 AT19960109735T 申请日期 1996.06.18
申请人 W.C. HERAEUS GMBH & CO. KG 发明人 GOY, KARL-HEINZ;LUPTON, DAVID FRANCIS, DR.;SCHIELKE, JOERG;SCHOELZ, FRIEDHOLD;SEROLE, BERNARD;BOHMEIER, HANS, DR.
分类号 C01G15/00;C01G19/02;C04B35/01;C23C14/08;C23C14/34;H01B1/16;(IPC1-7):C23C14/34;C04B35/00 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
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