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发明名称
VORRICHTUNG ZUR CHEMISCHEN BEHANDLUNG VON WAFERN
摘要
申请公布号
ATA4099(A)
申请公布日期
2001.08.15
申请号
AT19990000040
申请日期
1999.01.13
申请人
THALLNER ERICH DIPL.ING.
发明人
分类号
B05B13/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/68;B08B3/02;B08B11/00;C23C22/05;C23F17/00
主分类号
B05B13/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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