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发明名称
摘要
申请公布号 JP2001511950(A) 申请公布日期 2001.08.14
申请号 JP19980535873 申请日期 1998.02.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/36;H01L33/00;H01L33/28;H01S5/347;(IPC1-7):H01S5/347 主分类号 H01L21/36
代理机构 代理人
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