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发明名称
摘要
申请公布号	JP3198766(B2)	申请公布日期	2001.08.13
申请号	JP19930329391	申请日期	1993.12.27
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;H01L29/12;H01L29/165;H01L29/739;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
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