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发明名称
摘要
申请公布号	JP3197885(B2)	申请公布日期	2001.08.13
申请号	JP19990341017	申请日期	1999.11.30
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;G01R31/28;H01L21/00;(IPC1-7):G01R31/28	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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