发明名称 半导体制程之点胶装置
摘要 一种半导体制程之点胶装置,其主要包含有一点胶机、至少二压杆及一平台,该平台可做垂直升降之移动,在进行点胶前,该导线架设于该点胶机及该平台之间,该压杆下降抵住该导线架,该平台上升顶推支撑该导线架使其维持一平整度,该点胶机再进行点胶,由于该点胶机之每一针头与该导线架之间的距离相等,使该点胶机之出胶量能保持一定量,以避免溢胶及点胶均匀性不稳定的情形产生。
申请公布号 TW450430 申请公布日期 2001.08.11
申请号 TW089208682 申请日期 2000.05.20
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 鲁明朕
分类号 H01L23/28 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人 陈启舜 高雄巿苓雅区中正一路二八四号十二楼
主权项 一种半导体制程之点胶装置,系包括有:一平台,其可垂直升降;至少二压杆,其分设于该平台二侧;及一点胶机,其设有数个针头并设于该平台上方;在进行点胶前,该导线架设于该点胶机及该平台之间,该压杆下降抵住该导线架,该平台上升顶推支撑该导线架使其维持一平整度,该点胶机再进行点胶,由于该点胶机之每一针头与该导线架之间的距离相等,使该点胶机之出胶量能保持一定量,以避免溢胶及点胶均匀性不稳定的情形产生。图式简单说明:第一图:习用半导体制程之点胶装置之剖视图;第二图:习用半导体制程之点胶装置,其中该点胶机之针头较接近导线架之前视图;第三图:习用半导体制程之点胶装置,其中该点胶机之针头较远离导线架之前视图;第四图:本创作较佳实施例半导体制程之点胶装置,依第二图中该点胶机之针头较接近导线架之俯视图;第五图:本创作较佳实施例半导体制程之点胶装置,依第三图中该点胶机之针头较远离导线架之俯视图;第六图:本创作较佳实施例半导体制程之点胶装置之剖视图;及第七图:本创作较佳实施例半导体制程之点胶装置之剖视图。
地址 新竹科学工业园区新竹县研发一路一号