| 主权项 |
1.一种湿蚀刻机台之加热器的温控保护系统,包括:一控制单元,用以接收一感测信号,并据以输出一控制信号;一控温保护装置,接收该感测信号,并根据该感测信号内所包括的复数个条件信号,输出一控温信号;以及一加热开关控制器,耦接到该控制单元与该控温保护装置,该加热开关控制器用以接收该控制信号与该控温信号,并据以控制该加热器的电源,以改变该加热器之开关状态。2.如申请专利范围第1项所述之温控保护系统,其中该控制单元可为一可程式逻辑控制器。3.如申请专利范围第1项所述之温控保护系统,其中该控制单元可为一中央微处理器。4.如申请专利范围第1项所述之温控保护系统,其中该感测信号中的该些条件信号包括一液位感测器之一液位信号、一温度感测器之一过热信号、一排酸开关之一开关信号、该加热器之一保护信号及一温控器之一输出信号。5.如申请专利范围第1项所述之温控保护系统,其中该加热开关控制器包括一电磁接触器与一固态电驿。6.如申请专利范围第1项所述之温控保护系统,其中该控温保护装置包括一控温保护电路。7.一种湿蚀刻机台之加热器的温控保护系统,包括:一控制单元,接收一感测信号,并据以输出一控制信号;一第一加热开关控制器,接收该控制单元所输出之该控制信号,以控制该加热器的电源;一控温保护电路,接收该感测信号,并根据该感测信号中的复数个条件信号,据以输出一控温信号;以及一第二加热开关控制器,接收该控温保护电路所输出之该控温信号,并据以控制该加热器的电源。8.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该控制单元可为一可程式逻辑控制器。9.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该控制单元可为一中央微处理器。10.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该感测信号中的该些条件信号包括一液位感测器之一液位信号、一温度感测器之一过热信号、一排酸开关之一开关信号、该加热器之一保护信号及一温控器之一输出信号。11.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该第一加热开关控制器包括一电磁接触器与一固态电驿。12.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该控温保护电路包括一反闸、一及闸及一或闸。13.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该第二加热开关控制器是一继电器。14.如申请专利范围第7项所述之温控保护系统,其中该第一加热开关控制器之一控制回路与该第二加热开关控制器之该控制回路是串联连接的。15.一种湿蚀刻机台之加热器的温控保护系统,包括:一控制单元,用以接收一感测信号,并输出一控制信号;一第一加热开关控制器,接收该控制单元所输出之该输出控制信号,并据以控制该加热器的电源;以及一控温保护电路,接收该感测信号,并根据该感测信号中的复数个条件信号,据以输出一控温信号,其中该控温保护电路包括:一或闸,至少包括三个输入端,其中一第一输入端接收一第一条件信号、一第二输入端接收一第二条件信号、以及一第三输入端接收一第三条件信号,并该据该些条件信号输出一或闸逻辑信号;一反闸,其一输入端耦接到该或闸的输出端,该输入端系用以接收该或闸之该或闸逻辑信号,并在其一输出端输出与该或闸逻辑信号位准相反的一反闸逻辑信号;一逻辑单元,系用以接收该感测信号中的部分该些条件信号,并据以输出一逻辑信号;一及闸,至少包括二个输入端及一输出端,在该第一输入端接收该反闸之该反闸逻辑信号,在该第二输入端接收该逻辑信号,并在该输出端输出该控温信号;以及一第二加热开关控制器,接收该及闸所输出之该控制信号,并据以控制该加热器的电源。16.如申请专利范围第15项所述之温控保护系统,其中该第一条件信号系为一排酸开关之一开关信号。17.如申请专利范围第15项所述之温控保护系统,其中该第一条件信号系为一温度感测器之一过热信号。18.如申请专利范围第15项所述之温控保护系统,其中该第一条件信号系为一液位感测器之一液位信号排酸开关。19.如申请专利范围第15项所述之温控保护系统,其中该逻辑单元所接收之该感测信号中的部分该些条件信号系为该加热器之一警告信号及一温控器之一输出信号。图式简单说明:第一图绘示习知之湿蚀刻机台之加热器的方块图;第二图与第二'图绘示本发明较佳实施例之湿蚀刻机台之加热器的温控保护系统的方块图;以及第三图A与第三图B系绘示第二图与第二'图中之温控保护系统的温控保护装置较佳实施例之电路方块图。 |
