发明名称 超音波洗净机及具备该洗净机之湿式处理喷嘴
摘要 本发明系为提供容易调节超音波放射功率之超音波洗净机及具备该洗净机之湿式处理喷嘴。其解决手段:包围部凹入且呈突缘状形成周围的端部11b之第l筐体,相同地配置部凹入且呈突缘形状形成周围的端部12b之第2筐体12,且利用螺栓 l8及螺帽l9将衬垫13夹隔在两筐体的端部间,而在第l筐体与第2筐体间形成空洞部14。进而在空洞部14填满空热防止用的经脱气之水15,进而在第l筐体的部表面配置超音波振荡子16。然后在第2筐体的壁面12c,设置防止此壁面振动之加重体I7,利用加重体17抑制筐体壁面的振动,因而振动能量介由水15回到筐体的底面方向,从底面12c有效率地放射超音波。
申请公布号 TW449821 申请公布日期 2001.08.11
申请号 TW089104432 申请日期 2000.03.10
申请人 阿尔普士电气股份有限公司;海上股份有限公司 发明人 三森健一;笠间泰彦;芳贺宣明;小野昭一;副岛润一郎;高桥典久;藤江明雄;岩崎夫
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种超音波洗净机,其特征为:具备断凹状的筐体,在该筐体的内底面配置超音波振荡子,在前述筐体设置防止筐体壁面的振动之加重体。2.如申请专利范围第1项之超音波洗净机,其中前述加重体,被设置在筐体的外壁面及内壁面的至少一者。3.如申请专利范围第1项之超音波洗净机,其中前述加重体,被设置在筐体的内底面也是在不阻碍前述超音波振动所形成的振动之领域的内底面。4.如申请专利范围第1项之超音波洗净机,其中前述加重体,在能改变筐体的肉厚的状况下被形成。5.如申请专利范围第1项之超音波洗净机,其中前述加重体,涵括前述筐体的壁面全周被设置。6.一种湿式处理喷嘴,系为针对具备将处理液从一侧导入之导入通路及将湿式处理后的处理液从他侧排出之排出通路,同时在前述导入通路与前述排出通路之间,具备对被处理物导引从前述导入通路所导入的处理液且供予振动并且湿式处理被处理物之振动导引构件所构成之湿式处理喷嘴;其特征为:前述振动导引构件为申请专利第1项之超音波洗净机。7.一种超音波洗净机,其特征为:具备断面凹状也是在内部具有空洞部之筐体,在该筐体其凹内面的内底面配置超音波振荡子,在前述空洞部填入将从前述超音波振荡子的振动传播到前述筐体其凹外面的外底面之空热防止液,在前述筐体设置防止筐体壁面的振动之加重体。8.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述加重体,被设置在构成筐体的前述凹外面之外壁面及内壁面的至少一者。9.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述加重体,被设置在构成筐体的前述凹内面之外壁面及内壁面的至少一者。10.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述加重体,被设置在筐体其前述凹外面的内底面及前述凹内面的底面的至少一者也是在不阻碍前述超音波振荡子所形成的振动之领域的内底面或是底面。11.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述加重体,在能改变筐体的前述外凹面或是前述内凹面之肉厚的状况下被形成。12.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述加重体,涵括前述筐体的壁面全周被设置。13.如申请专利范围第7项之超音波洗净机,其中前述筐体,包围中央部凹入且呈突缘状形成周围的端部之第1筐体,相同地配置中央部凹入且呈突缘状形成周围的端部之第2筐体,将衬垫夹隔在两筐体的端部间而在该第1筐体与第2筐体间形成前述空洞部。14.如申请专利范围第13项之超音波洗净机,其中前述衬垫由中央部具有贯穿孔之弹性构件所形成,前述第1筐体及第2筐体由板状构件所形成,利用贯穿两端部之螺栓,夹隔第1筐体的前述突缘状端部与第2筐体的前述突缘状端部之弹性构件,且依据调节螺栓的锁紧程度而能改变衬垫的厚度所构成。15.一种湿式处理喷嘴,系为针对具备将处理液从一侧导入之导入通路及将湿式处理后的处理液从他侧排出之排出通路,同时在前述导入通路与前述排出通路之间,具备对被处理物导引从前述导入通路所导入的处理液且供予振动并且湿式处理被处理物之振动导引构件所构成之湿式处理喷嘴;其特征为:前述振动导引构件为申请专利范围第7项之超音波洗净机。16.如申请专利范围第6项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体被设置在筐体其外壁面及内壁面的至少一者。17.如申请专利范围第6项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体被设置在筐体的内底面也是在不阻碍前述超音振荡子所形成的振动之领域的内底面。18.如申请专利范围第6项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体在能改变筐体的肉厚状况下被形成。19.如申请专利范围第6项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体涵括前述筐体的壁面全周被设置。20.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体被设置在构成筐体的前述凹外面之外壁面及内壁面的至少一者。21.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体被设置在构成筐体的前述凹内面之外壁面及内壁面的至少一者。22.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体被设置在筐体其前述凹外面之内底面及前述凹内面之底面的至少一者也是在不阻碍前述超音波振荡子所形成的振动之领域的内底面。23.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体在能改变筐体的前述外凹面或是前述内凹面之肉厚的状况下被形成。24.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述加重体涵括前述筐体的壁面全周被设置。25.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述筐体系为包围中央部凹入且呈突缘状形成周围的端部之第1筐体,相同地配置中央部凹入且呈突缘状形成周围的端部之第2筐体,且将衬垫夹隔在两筐体的端部间而在该第1筐体与第2筐体间形成前述空洞部。26.如申请专利范围第15项之湿式处理喷嘴,其中在于前述超音波洗净机,前述衬垫由中央部具有贯穿孔之弹性构件所形成,前述第1筐体及第2筐体由板状构件所形成,利用贯穿两端部之螺栓,夹隔第1筐体的前述突缘状端部与第2筐体的前述突缘状端部之弹性构件,利用调节螺栓的锁紧程度使其能改变衬垫的厚度所构成。图式简单说明:第一图系为表示本发明超音波洗净机的第1实施形态;第一图(a)为该斜视图,第一图(b)为沿着第一图(a)的Ib-Ib线之扩大纵断面图。第二图系为表示第一图所示的超音波洗净机其被洗净物的洗净状态之纵断面图。第三图系为表示本发明超音波洗净机的第2实施形态之纵断面图。第四图系为表示本发明超音波洗净机的第3实施形态之纵断面图。第五图系为表示本发明超音波洗净机的第4实施形态之纵断面图。第六图系为表示本发明超音波洗净机的第5实施形态之纵断面图。第七图系为表示本发明超音波洗净机的第6实施形态之纵断面图。第八图系为表示本发明超音波洗净机的第7实施形态之纵断面图。第九图系为表示本发明超音波洗净机的第8实施形态之纵断面图。第十图系为表示本发明超音波洗净机的第10实施形态:第十图(a)为该斜视图,第十图(b)为沿着第十图(a)的Xb-Xb线之扩大纵断面图。第十一图系为表示本发明超音波洗净机的第11实施形态;第十一图(a)为该斜视图,第十一图(b)为沿着第十一图(a)的XIb-XIb线之扩大纵断面图。第十二图系为表示本发明湿式处理喷嘴的一实施形态;第十二图(a)为该斜视图,第十二图(b)为沿着第十二图(a)的XIIb-XIIb线之扩大纵断面图。第十三图系为表示第十二图所示的湿式处理喷嘴其被洗净物的洗净状态之纵断面图。第十四图系为表示本发明其他超音波洗净机的第1实施形态;第十四图(a)为该斜视图,第十四图(b)为沿着第十四图(a)的XIVb-XIVb线之扩大纵断面图。第十五图系为表示第十四图所示超音波洗净机其被洗净物的洗净状态之纵断面图。第十六图系为表示本发明其他超音波洗净机的第2实施形态之纵断面图。第十七图系为表示本发明其他超音波洗净机的第3实施形态之纵断面图。第十八图系为表示本发明其他超音波洗净机的第4实施形态;第十八图(a)为该斜视图,第十八图(b)为沿着第十八图(a)的XVIIIb-XVIIIb线之扩大纵断面图。第十九图系为表示本发明其他湿式处理喷嘴的一实施形态;第十九图(a)为该斜视图,第十九图(b)为沿着第十九图(a)的XIXb-XIXb线之扩大纵断面图。第二十图系为表示第十九图所示的湿式处理喷嘴其被洗净物洗净状态之断面图。第二十一图系为过去的超音波冲水洗净机之纵断面图。第二十二图系为过去的节水型超音波洗净机之纵断面图。第二十三图系为过去的2重槽形成的节水型超音波洗净机之纵断面图。
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