发明名称 SOG工作线内锁检测方法
摘要 本发明系提供一种SOG工作线(Walking Beam)内锁(Interlock)检测方法,将一检测线路装置连接上SOG加热台与SOG工作线,该检测线路装置系设有激磁继电器、继电器以及一警报器;驱动该SOG工作线使之动作,若进行路线有方向上的偏差,一旦该SOG工作线碰触到该SOG加热台,该线路检测装置便会与该SOG加热台组及该工作线形成内锁回路,将导通警报器动作发出警告,则停止动作该SOG工作线,调整该SOG工作线之行进路线的方向,直至工作线动作行进路线正确。
申请公布号 TW449852 申请公布日期 2001.08.11
申请号 TW089118387 申请日期 2000.09.08
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 刘谅煌;林旭兴
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 郑煜腾 台北巿松德路一七一号二楼
主权项 1.一种SOG工作线(Walking Beam)内锁(Interlock)检测方法,可检测SOG加热台组中的工作线(Walking Beam)动作路线之准确性,提供一检测线路装置,该检测线路装置系设有激磁继电器、继电器以及警报器,在该SOG加热台的工作线进行动作之前,使该检测线路装置连接上该SOG加热台组与该工作线,形成一内锁检测装置回路,当该SOG加热台的工作线动作时,若进行路线有方向上的偏差,碰触到SOG加热台,则检测回路装置便会与该SOG加热台组与该工作线形成一回路,便会启动该警报器,通知必需调整该SOG工作线之行进路线的方向至正确。2.如申请专利范围第1项所述SOG工作线内锁检测方法,其中所述之SOG工作线所附复数个底脚皆套上绝缘套筒。3.如申请专利范围第1项所述SOG工作线内锁检测方法,其中所述之加热台组系可包括复数个加热台,各该加热台所控制之烘烤温度皆不同。4.如申请专利范围第1项所述SOG工作线内锁检测方法,其中所述之SOG工作线可装设上复数个滚轮(Roller),以使行进时更平稳。5.如申请专利范围第1项所述SOG工作线内锁检测方法,其中所述之激磁继电器系控制所述继电器的电路导通状态,当该激磁继之电器接通之后,则会导通该继电器之电路,继而导通该继电器所接之电阻。6.如申请专利范围第1项所述SOG工作线内锁检测方法,其中所述之警报器可为一蜂鸣器(BZ)。图式简单说明:第一图为习知SOG工作线之示意图。第二图为本发明实施例SOG工作线之示意图。第三图为本发明实施例SOG工作线内锁检测方法的装置示意图。第四图为本发明实施例SOG工作线检测线路装置示意图。第五图为本发明SOG工作线内锁检测方法的流程图。
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