发明名称 光阻管理系统
摘要 一种光阻管理系统方法,首先在一光阻柜领取一新光阻瓶,接着对新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,然后判断光阻瓶内之光阻的可用性。接着,在一机台端上,进行一工号读取、一旧光阻资料读取以及新光阻资料读取,并判断旧光阻资料与新光阻资料两者异同。当两者相同时,使光阻柜之一光阻库存资料更新,然后在机台端上,换上新阻瓶内之一光阻。反之当相异时,显示两者之相关资料给一负责人员,并回到光阻柜领取另一新光阻瓶重新进行比对。
申请公布号 TW449800 申请公布日期 2001.08.11
申请号 TW089103703 申请日期 2000.03.02
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 蔡立达;陈建宏
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种光阻管理方法,包括下列步骤:在一光阻柜领取一新光阻瓶;对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,并判断该光阻瓶内之一光阻的可用性;在一机台端上,进行一工号读取、一旧光阻资料读取以及该新光阻资料读取;判断该旧光阻资料与该新光阻资料两者异同;以及当该旧光阻瓶与该新光阻瓶相同时,使该光阻柜之一光阻库存资料更新,然后在该机台端上,换上该新光阻瓶内之一光阻。2.如申请专利范围第1项所述之光阻管理方法,其中对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,系在该新光阻瓶上具有一标签。3.如申请专利范围第1项所述之光阻管理方法,其中对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,系在该新光阻瓶上具有一条状码,以一扫描器来进行读取该光阻瓶之编号后,再进行对应之资料寻找。4.如申请专利范围第1项所述之光阻管理方法,其中在该新光阻资料读取下,判断该光阻瓶内之一光阻的可用性,系以一使用期限来判断。5.如申请专利范围第1项所述之光阻管理方法,其中判断该光阻瓶内之一光阻的可用性,包括使用到一机台端上机台管路之该旧光阻资料读取。6.如申请专利范围第5项所述之光阻管理方法,其中该旧光阻资料读取系利用一空光阻瓶上之一条状码来判读。7.如申请专利范围第5项所述之光阻管理方法,其中该旧光阻资料读取系利用该机台端上机台管路之所记载资料。8.一种光阻管理方法,包括下列步骤:a.在一光阻柜领取一新光阻瓶;b.对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,并判断该光阻瓶内之一光阻的可用性;c.在一机台端上,进行一工号读取、一旧光阻资料读取以及该新光阻资料读取;d.判断该旧光阻资料与该新光阻资料两者异同;e.当该旧光阻瓶与该新光阻瓶相同时,使该光阻柜之一光阻库存资料更新,然后在该机台端上,换上该新光阻瓶内之一光阻;以及f.当步骤d进行比较,发现该旧光阻瓶与该新光阻瓶相异时,显示两者之相关资料给一负责人员,并回到该光阻柜领取另一新光阻瓶重新进行比对。9.如申请专利范围第8项所述之光阻管理方法,其中对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,系在该新光阻瓶上具有一标签。10.如申请专利范围第8项所述之光阻管理方法,其中对该新光阻瓶上之一新光阻资料进行读取,在该新光阻瓶上具有一条状码,以一扫描器来进行读取该光阻瓶之编号后,再进行对应之资料寻找。11.如申请专利范围第8项所述之光阻管理方法,其中在该新光阻资料读取下,判断该光阻瓶内之一光阻的可用性,系以一使用期限来判断。12.如申请专利范围第8项所述之光阻管理方法,其中判断该光阻瓶内之一光阻的可用性,包括使用到一机台端上机台管路之该旧光阻资料读取。13.如申请专利范围第12项所述之光阻管理方法,其中该旧光阻资料读取系利用一空光阻瓶上之一条状码来判读。14.如申请专利范围第12项所述之光阻管理方法,其中该旧光阻资料读取系利用该机台端上机台管路之所记载资料。图式简单说明:第一图绘示习知光阻管理系统的流程图;以及第二图绘示依照本发明一较佳实施例的一种光阻管理系统方法的流程图。
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