接合线高度检查装置

摘要

本创作之目的在于提供一种可判别被接合之线之高度之接合线高度检查装置。其系:预先调查出光学系统之对焦位准之改变与线高度及线宽度间之相关关系，而从以检查之线之高度为基准之上限值Zl与下限值Z2中，设定出作为光学系统之对焦位准的检查位准ZO，而藉由求出拍摄检查之线5b、5c、5d所得之线宽度HO、H2、H3是否在前述线高度及线宽度之相关关系中之上限值Zl及下限值Z2内之线宽度内，即可判别出线高度之良否。

主权项

1.一种接合线高度检查装置,其系将接合于半导体 晶片电极与引线框架引线上之线,经由光学系统, 以摄像装置拍摄,而检查线高度者,其特征具有: 记忆线宽度与高度之相关资料之线宽度、高度相 关资料记忆体;记忆线高度之良否基准之上限値与 下限値之上限、下限资料记忆体;将所检查之线之 画像摄像之摄像装置;及处理以该摄像装置所拍摄 之前述线之画像,算出线宽度与高度之相关资料, 并记忆于前述线宽度、高度相关资料记忆体,同时 ,演算所检查之线宽度是否在记忆于前述上限、下 限资料记忆体之上限値及下限値之线宽度内,以判 别所检查之线高度之良否之演算控制部。图式简 单说明: 第一图为本创作之接合线高度检查装置中所使用 之控制回路部之一实施例之方块图。 第二图为线宽度与线高度之相关关系图。 第三图为说明本创作用之线高度与线宽度之关系( a)为试料之正视图,(b)(c)(d)为摄得之线宽度之图。 第四图为动作之流程图。 第五图为接合线高度检查装置之概略侧视图。 第六图为线高度与线宽度之关系图(a)为试料之正 视图(b)为所摄得之线宽度之示意图。