发明名称 控制区域环境之系统及方法
摘要 本发明提供一种控制区域环境之系统以及方法。在一实施例中,进来之空气进入像是直接接触冷却压缩机(DCCC)之接触器,其中空气与分散于接触媒介上之水接触。在经由DCCC传送之后,该空气在等于或接近于水之温度下而饱和。根据进来空气之状态,DCCC将被湿度化以及去湿度化,以产生理想湿度比率之饱和空气。在一实施例中,一吹气机经由DCCC而带动空气,并吹入该加热器中。该加热器将空气加热至理想乾燥灯球温度。于离开之前,该空气可经由过滤器而流通。本发明一般系相关于区域环境之控制,特别是,相关于控制像是传送至半导体装置之气体的温度,湿度以及清洁度之系统以及方法。
申请公布号 TW449777 申请公布日期 2001.08.11
申请号 TW089102216 申请日期 2000.02.10
申请人 西利康威利集团股份有限公司 发明人 狄克伦、巴比金;布莱恩、韦德
分类号 H01L21/00;F24F3/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种气体-液体接触系统,包含: 一接触器,包括接触媒介,一气体入口以及气体出 口,一液体入口以及液体出口,其中该液体入口允 许位于接触媒介之上之液体,而气体入口允许于接 触媒介之下之气体,而该液体以及气体流经接触媒 介,使得该气体经由气体出口而处于一饱和状态; 一加热器; 一冷却器; 一气体出口,将气体出口连接至加热器; 一液体出口,将液体出口连接至该冷却器,其中该 液体经由液体入口、连接器、液体出口以及冷却 器而在一封闭回路中流动; 一第一气体温度感应器,具有气体出口线并处于加 热器之上游; 一第二气体温度感应器,具有气体出口线并处于加 热器之下游;以及 一控制器,连接至第一以及第二气体温度感应器以 及加热器,其中该控制器经调整加热器以将气体以 一理想温度以及相对湿度而传送。2.如申请专利 范围第1项所述之系统,进一步包含一位于接触媒 介上之洒水器,以将液体均匀分散于接触媒介之上 ,一泵位于介于冷却器以及洒水器之间,以将液体 供应至洒水器,以及一气体吹气机,以将气体供应 至气体入口。3.如申请专利范围第2项所述之系统, 其中该外壳系圆柱之形状,且该洒水器包括至少一 臂,沿着该臂具有多数个孔,且指向介于接触媒介 顶部之平行以及相对部位之间,其中该洒水器以反 应作用力之自我旋转方式连接,该作用力由对于孔 所流出之液体分布,而对该臂有所影响。4.如申请 专利范围第1项所述之系统,进一步包含一具有补 偿入口线之容器,以将液体导入至容器,以及一移 除出口线以将液体自该容器中移除,一低感应器, 以当液体之准位系属低准位时,产生一信号至一液 体供应机构,以经由该补偿入口而将额外液体供应 至该容器,一高感应器,以当液体之准位太高时,产 生一信号,以经由移除入口而将液体自容器移除。 5.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该控制器 发送一信号至一液体供应机构,在周期时间自供应 机构中供应新鲜液体,以维持液体纯度之需求,并 使得该冷却器可维持该液体于一理想温度。6.如 申请专利范围第1,2,3,4或5项中任一项所述之系统, 其中该接触媒介系为塔容器。7.一种控制空气温 度、相对湿度以及无麈度之系统,包含: 一空气-水接触器,包括一具有接触媒介之容器,一 空气入口以及一空气出口,一水入口以及一水出口 ,其中该水入口允许位于接触媒介之上之水,而空 气入口允许于接触媒介之下之空气,而该水以及空 气流经接触媒介,使得该空气经由空气出口而处于 一饱和状态; 一加热器; 一冷却器; 一过滤器; 一空气出口,将空气出口连接至加热器; 一水出口,将水出口连接至该冷却器,其中该水经 由接触器以及冷却器而在一封闭回路中流动; 一第一空气温度感应器,具有空气出口线并处于加 热器之上游; 一第二空气温度感应器,具有空气出口线并处于加 热器之下游;以及 一控制器,连接至第一以及第二空气温度感应器, 加热器,以及冷却器,其中该控制器经调整加热器 以及冷却器以将空气以一理想温度以及相对湿度 而传送,而且其中该过滤器系具有空气出口线并处 于加热器之下游。8.如申请专和范围第7项所述之 系统,进一步包含一位于接触媒介上之洒水器,以 将水均匀分散于接触媒介之上,一泵位于介于冷却 器之上游,以将水供应至洒水器,以及一空气吹气 机,设置于加热器以及过滤器之间。9.如申请专利 范围第8项所述之系统,其中该外壳系圆柱形状,且 该洒水器包括至少一臂,沿着该臂具有多数个孔, 且指向介于接触媒介顶部之平行以及相对部位之 间,其中该洒水器以反应作用力之自我旋转方式连 接,该作用力藉由对于孔所流出之水分布,而对该 臂有所影响。10.如申请专利范围第7项所述之系统 ,进一步包含一具有补偿入口线之容器,以将水导 入至容器,以及一移除出口线以将水自该容器中移 除,一低感应器,以当水之准位系属低准位时,产生 一信号至一水供应机构,以经由该补偿入口而将额 外水供应至该容器,一高感应器,以当水之准化太 高时,产生一信号,以经由移除入口而将水自容器 移除。11.如申请专利范围第7项所述之系统,其中 该控制器发送一信号至一水供应机构,在周期时间 自供应机构中供应新鲜水,以维持水纯度之需求, 并使得该冷却器可维持该水于一理想温度。12.如 申请专利范围第7,8,9,10或11项中任一项所述之系统 ,其中该接触媒介系为塔容器。13.一种气体获得控 制器,经应用而自系统中得到理想温度以及相对湿 度之气体,包括一气体-液体接触器,一连接至该接 触器之气体加热器,一连接至该接触器之液体冷却 器,包含: 一电脑,包括一输入机构,以输入温度设定点以及 一相对湿度设定点,一第一补偿器,一第二补偿器, 一转换器,以取得温度设定点以及相对湿度设定点 之输入,而产生一输出至一第二补偿器,其中该第 一以及第二补偿器输出控制于该加热器以及冷却 器,以自该接触器中得到在理想温度以及相对湿度 设定点之理想忍受度之气体。14.如申请专利范围 第13项所述之控制器,其中该电脑进一步包含一第 一PWM信号转换器,其中该第一补偿器系为一第一PID 以产生第一输出信号,且其中该第一PWM信号转换器 ,将第一PID输出信号转换成一第一指令信号,以调 整加热器之加热速率。15.如申请专利范围第13项 所述之控制器,其中该电脑进一步包含一第二PWM信 号转换器,其中该第二补偿器系为一第二PID以产生 第二输出信号,且其中该第二PWM信号转换器,将第 二PID输出信号转换成一第二指令信号,以调整冷却 器之冷却速率。16.如申请专利范围第13项所述之 控制器,其中该转换器由该温度设定点以及相对湿 度设定点,而产生一饱和温度设定点,且其中该电 脑包括一温度乾燥灯球回馈回路,以比较该乾燥灯 球温度以及该温度设定点,以及一温度饱和回馈回 路,以比较该饱和温度与该饱和温度设定点。17.如 申请专利范围第13项所述之控制器,其中该控制器 包括一合作多工排程器,该排程器在工作于电脑CPU 中执行时予以配置,以使每个工作具有一处理时间 ,并与工作完成之后,将控制传回至排程器。18.如 申请专利范围第13,14,15,16或17像所述之控制器,其 中该气体系为空气而该液体系为水。19.一种控制 气体品质之方法,以控制传送至区域环境之气体品 质,包含以下步骤: 提供一温度以及相对湿度设定点之输入; 经由接触器而循环水,其中该接触器包括一水入口 以及出口,一空气入口以及出口; 经由接触器而循环空气,其中该位于接触器之空气 系与接触器中之水紧密接触,而该位于空气出口之 空气系属饱和; 量测传送至区域环境之空气的乾燥灯球温度以及 饱和出口空气之温度;以及 比较空气之乾燥灯球温度与温度设定点,并产生一 对应之第一信号。20.如申请专利范围第19项之方 法,进一步包含以下步骤: 将温度设定点以及相对湿度设定点转换成饱和温 度设定点;以及 比较饱和温度设定点以及饱和出口空气之温度,以 产生对应之第二信号;并根据第二信号而调整该冷 却器,以将循环水变成一温度以及相对湿度设定点 之値的温度,该温度系由于将空气传送至区域环境 。21.如申请专利范围第19项之方法,进一步包含以 下步骤:根据该第一信号而调整加热器,以将传送 至区域环境之空气变成温度以及相对湿度设定点 之値。22.如申请专利范围第20项之方法,进一步包 含以下步骤:藉由第一PID补偿器而将第一信号转换 为第一指令信号,并将第一指令信号转换为第一脉 波宽度模组格式,以对加热器供应电源。23.如申请 专利范围第19项之方法,进一步包含以下步骤:藉由 第二PID补偿器而将第二信号转换为第二指令信号, 并将第二指令信号转换为第二脉波宽度模组格式, 以对冷却器供应电源。图式简单说明: 第一图系本发明系统之一实施例的结构图。 第二图系适合使用于空气水系统之直接接触冷却 器-压缩机(DCCC)之一实施例图。 第三图A系位于DCC圆柱外壳之洒水器臂之一实施例 的顶视图。 第三图B系第三图A中线A-A之洒水器臂之剖面图。 第三图C系第三图B中线B-B之洒水器臂之剖面图。 第三图D系洒水器臂之立体图,以展示孔之方向以 及空隙。 第三图E系展示洒水器臂内部结构之剖面图。 第四图系展示使用于本发明之控制系统之实施例 。 第五图A-第五图F系系以执行本发明之软体之一实 施例所执行的一组工作。 第六图系展示本控制系统之另一实施例。 第七图系一乾湿计图,展示作为湿度化本发明系统 之气体的处理路径。 第八图系一乾湿计图,展示作为去湿度化本发明系 统之气体的处理路径。 第九图系展示将相对湿度与温度予以不相关连之 结果的图。
地址 美国
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