发明名称 Croissance de pellicules minces de nitrure de silicium
摘要
申请公布号 FR1541803(A) 申请公布日期 1968.10.11
申请号 FR19670119585 申请日期 1967.08.31
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 C23C16/34;H01L21/318 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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