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发明名称 Compliant wafer chuck
摘要 A compliant wafer chuck for supporting a substrate in which an upper body of the chuck is allowed to tilt relative to the base.
申请公布号 US2001011637(A1) 申请公布日期 2001.08.09
申请号 US20010825648 申请日期 2001.04.04
申请人 WYTMAN JOSEPH 发明人 WYTMAN JOSEPH
分类号 C23C16/458;(IPC1-7):C25D7/12;B65G47/24;C25D17/06;C25F3/12 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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