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发明名称 Im Nanometerbereich hergestellte Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69427617(D1) 申请公布日期 2001.08.09
申请号 DE19946027617 申请日期 1994.04.29
申请人 HITACHI EUROPE LTD., MAIDENHEAD 发明人 OGAWA, KENSUKE;ALLAM, JEREMY
分类号 H01L29/76;H01L29/772;H01L31/0352;(IPC1-7):H01L29/76;H01L29/12 主分类号 H01L29/76
代理机构 代理人
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