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发明名称 Herstellungsverfahren für eine optische Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69521556(D1) 申请公布日期 2001.08.09
申请号 DE1995621556 申请日期 1995.04.27
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SAKATA, YASUTAKA
分类号 G02F1/025;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/042;H01S5/20;H01S5/227;H01S5/40;(IPC1-7):H01L33/00;H01S5/34 主分类号 G02F1/025
代理机构 代理人
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