发明名称 METHODS AND COMPOSITIONS FOR IMPROVING INTERCONNECT METALLIZATION PERFORMANCE IN INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 KR20010074707(A) 申请公布日期 2001.08.09
申请号 KR1020017000537 申请日期 2001.01.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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