DEVICE FOR ADJUSTING THE DISTRIBUTION OF MICROWAVE ENERGY DENSITY IN AN APPLICATOR AND USE OF THIS DEVICE

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Einstellung einer Mikrowellen-Energiedichteverteilung in einem einen Resonatorraum bildenden Applikator, in dem die von Mikrowellengeneratoren erzeugte Strahlung über Hohlleiter bis zur Applikatorwand geführt wird und eine Verwendung dieser Vorrichtung. Um eine möglichst verlustarme Mikrowelleneinspeisung durchführen zu können und eine Änderung der Feldverteilung im Resonatorraum zu ermöglichen, werden mehrere elektrisch leitfähige Koppelstifte (31) verwendet, die jeweils sowohl in den Hohlleiterraum als auch den Applikator-Resonatorraum vorzugsweise senkrecht hineinragen. Diese Vorrichtung eignet sich insbesondere zur Erzeugung eines Plasmas.