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发明名称
LIQUID PRECURSOR FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
KR20010074688(A)
申请公布日期
2001.08.09
申请号
KR1020017000348
申请日期
2001.01.09
申请人
发明人
分类号
C23C16/30
主分类号
C23C16/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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