发明名称 | 测量物体尺寸的装置 | ||
摘要 | 一种度盘,具有布置成矩阵且成点对称形状的标记。将度盘和待测量尺寸的物体固定使之无相对运动。图象传感器单元选择地和连续地检测物体的预定部位和与其相对应的度盘标记,图象传感单元按对物体和度盘的检测结果产生输出信号。对信号处理并计算物体尺寸。一种测量物体尺寸的装置,可消除视差,从而满意地改善了测量精度。在该装置中,物体和标记配置成使物体与一读取单元之间的光学距离等于标记与该读取单元之间的光学距离。 | ||
申请公布号 | CN1069402C | 申请公布日期 | 2001.08.08 |
申请号 | CN95119638.3 | 申请日期 | 1995.11.29 |
申请人 | 日本EM株式会社 | 发明人 | 星山浩树 |
分类号 | G01B11/02 | 主分类号 | G01B11/02 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张志醒;邹光新 |
主权项 | 1.一种用于测量物体尺寸的装置,包括:一个工作台,具有平的第一表面,其上可放置待测量的所述物体;读取装置,利用穿过一个半反射镜装置的光和从该半反射镜装置反射的光,来读取相应于物体上一个任意点的数值和相应于该任意点的一块标记板上标记的一个数值;其特征在于:所述标记板配置在平行于平的第一表面的平的第二表面上,该标记板带有表示包括坐标、尺寸或角度的测量单元的标记;和所述半反射镜装置配置在平的第三表面上,该表面处于这样的位置,即使得物体与半反射镜装置之间的光学距离等于标记与半反射镜装置之间的距离。 | ||
地址 | 日本静内县 |