可光聚合热固性树脂组合物

摘要

公开了一类特别适合用作碱性可显影掩膜的组合物,包含(A)分子中含至少1个羧基的齐聚物或聚合物;(B)至少一种式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ或Ⅵ的化合物,其中R₁特别是苯基或烷基;R₂是例如无取代或取代的C₂－C₁₂链烷酰基,或苯甲酰基;R₃、R₄、R₅、R₆和R₇独立地是例如氢、C₁－C₁₂烷基、环己基或无取代或有取代的苯基,或是苄基、苯甲酰基、C₂－C₁₂链烷酰基或苯氧羰基;R₈是例如氢或C₁－C₁₂烷基或基团(B);M是例如C₁－C₁₂亚烷基、亚环己基或亚苯基;M₁特别是直连键或C₁－C₁₂亚烷氧基;Ar是5－或6员芳族杂环;(C)一种可光聚合的活性或非活性稀释剂;和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的环氧化合物。

主权项

1.光敏热固性液体组合物，其中包含：(A)分子中含有至少1个羧酸基团的齐聚物或聚合物；(B)至少一种式I、II、III、IV、V或VI的化合物：其中：R₁是苯基、无取代的，或被1个或多个C₁-C₆烷基、苯基、卤素、OR₈、SR₉或NR₁₀R₁₁取代，或者R₁是C₁-C₂₀烷基、C₂-C₂₀链烯基、C₂-C₂₀炔基或C₂-C₂₀烷基，该烷基任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R₁是C₂-C₂₀链烷酰基或苯甲酰基，它是无取代的、或被1个或多个C₁-C₆烷基、苯基、OR₈、SR₉或NR₁₀R₁₁取代，或者R₁是C₂-C₁₂烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R₁是苯氧羰基，无取代的，或被C₁-C₆烷基、卤素、苯基、OR₈或NR₁₀R₁₁取代，或者R₁是CONR₁₀R₁₁、CN、NO₂、C₁-C₄-卤烷基、S(O)_m-C₁-C₆烷基、无取代的或C₁-C₁₂烷基取代的S(O)_m-C₆-C₁₂芳基、SO₂O-C₁-C₆烷基、SO₂O-C₆-C₁₀芳基，或二苯基膦酰基，或者R₁与R₃一起或R₁与R₇一起形成含有1个或多个CO-和/或肟基的5或6员环；m是1或2；R₂是C₂-C₁₂链烷酰基，它是无取代的，或被1个或多个卤素或CN取代，或者R₂是C₃-C₁₂链烯酰基，或苯甲酰基，它是无取代的，或被1个或多个C₁-C₆烷基、苯基、卤素、CN、OR₈、SR₉或NR₁₀R₁₁取代，或者R₂是C₂-C₁₂烷氧羰基或苯氧羰基，它是无取代的，或被C₁-C₆烷基或卤素取代；R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此独立，是氢、卤素、C₁-C₁₂烷基、环戊基、环己基或苯基，它是无取代的，或被1个或多个OR₈、SR₉或NR₁₀R₁₁取代，或者R₃、R₄、R₅、R₆和R₇是苄基、苯甲酰基、C₂-C₁₂链烷酰基、C₂-C₁₂烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R₃、R₄、R₅、R₆和R₇是苯氧羰基或基团OR₈、SR₉、SOR₉、SO₂R₉、NO₂、CN、CONR₁₀R₁₁，或NR₁₀R₁₁，其中取代基OR₈、SR₉和NR₁₀R₁₁可通过基团R₈、R₉、R₁₀和/或R₁₁与苯环上的其它取代基或与苯环中的1个碳原子形成5-或6-员环；R₈是氢、C₁-C₁₂烷基或C₂-C₆烷基，后者是被-OH、-SH、-CN、C₁-C₄烷氧基、C₃-C₆链烯氧基、-OCH₂CH₂CN、-OCH₂CH₂COO(C₁-C₄烷基)、-OCO-C₁-C₄烷基、-OCO-苯基、COOH或COO(C₁-C₄烷基)取代的，或者R₈是C₂-C₆烷基，被1个或多个-O-隔开，或者R₈是-(CH₂CH₂O)_nH、C₂-C₈链烷酰基、C₂-C₁₂链烯基、C₃-C₆链烯酰基、环己基或苯基，后者是无取代的或被卤素、C₁-C₁₂烷基或C₁-C₄烷氧基取代，或者R₈是苯基-C₁-C₃烷基或Si(C₁-C₈烷基)_r(苯基)_3-r或者R₈是下式的基团：n定1～20；r是1、2或3；R₉是氢、C₁-C₁₂烷基、C₂-C₁₂链烯基、环己基、C₂-C₆烷基，后者是被-OH、-SH、-CN、C₁-C₄烷氧基、C₃-C₆链烯氧基、-OCH₂CH₂CN、-OCH₂CH₂COO(C₁-C₄烷基)、-OCO-C₁-C₄烷基、-OCO-苯基、COOH或COO(C₁-C₄烷基)取代的，或者R₉是C₂-C₁₂烷基，被1个或  多个-O-或-S-隔开，或者R₉是苯基，无取代的或被卤素、C₁-C₁₂烷基或C₁-C₄烷氧基取代，或者R₉是苯基-C₁-C₃烷基或下式的基团：R₁₀和R₁₁彼此独立，是氢、C₁-C₁₂烷基、C₂-C₄羟烷基、C₂-C₁₀烷氧基烷基、C₂-C₅链烯基、C₅-C₁₂环烷基、苯基-C₁-C₃烷基、无取代或被C₁-C₁₂烷基或C₁-C₄烷氧基取代的苯基，或者R₁₀和R₁₁是C₂-C₃链烷酰基、C₃-C₆链烯酰基或苯甲酰基，或者R₁₀和R₁₁合在一起是C₂-C₆亚烷基，任选地被-O-或-NR₈-隔开，或者R₁₀和R₁₁合在一起是C₂-C₆亚烷基，它可被羟基、C₁-C₄烷氧基、C₂-C₄链烷酰氧基或苯甲酰氧基取代，或者，当R₁₀是氢时，R₁₁可以是下式的基团：R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇、R₁₈和R₁₉彼此独立，是氢、卤素、C₁-C₁₂烷基、环戊基、环己基或苯基，后者是无取代的或被1个或多个OR₈、SR₉或NR₁₀R₁₁取代，或者R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇、R₁₈和R₁₉是苄基、苯甲酰基、C₂-C₁₂链烷酰基、C₂-C₁₂烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇、R₁₈和R₁₉是苯氧羰基或基团OR₈、SR₉、SOR₉、SO₂R₉、NO₂、CN、CONR₁₀R₁₁，或NR₁₀R₁₁，其中取代基OR₈、SR₉和NR₁₀R₁₁可通过基团R₈、R₉、R₁₀和/或R₁₁与苯环上的其它取代基或与苯环中的1个碳原子形成5-或6-员环，或R₁₅和R₁₆合在一起是亚乙基或亚乙炔基；t是0或1；M是C₁-C₁₂亚烷基、亚环己基、亚苯基、-COO-(C₂-C₁₂亚烷基)-OOC-、-COO-(CH₂CH₂O)_n-OC-或-CO-(C₂-C₁₂亚烷基)-CO-；M₁是1个直连键或C₁-C₁₂亚烷氧基，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR₁₀-隔开；M₂是1个直连键或C₁-C₁₂亚烷基-S-，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR₁₀-隔开；M₃是1个直连键、哌嗪子基，或C₁-C₁₂亚烷基-NR₁₀-，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR₁₀-隔开；M₄是1个直连键、-O-、-S-、-SO-、-SO₂-、-CO-、-CH₂-、-NR₁₀-，或基团Ar是5-或6-员的芳族杂环，是无取代的，或被1个或多个C₁-C₆烷基、苯基、卤素、OR₈、SR₉、NR₁₀R₁₁、CN、C₂-C₆链烷酰基或苯甲酰基取代；其中1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-O-苯甲酰基肟和1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-O-乙氧羰基肟除外；(C)可光聚合的活性或非活性稀释剂；和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的一种环氧化合物。