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发明名称 Device for filtering charged particles, energy filter and analyser using such an energy filter
摘要
申请公布号 EP0545064(B1) 申请公布日期 2001.08.08
申请号 EP19920118282 申请日期 1992.10.26
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 RETTINGHAUS, GERHARD, DR. PHYS.
分类号 H01J49/22;H01J27/20;H01J49/14;H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/48 主分类号 H01J49/22
代理机构 代理人
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