使用不同温度的液体通过湿法加工制造电子元件的方法

摘要

本发明涉及湿法加工制造电子元件前体,如集成电路中使用的半导体晶片的方法。更具体地说,本发明涉及使用不同温度的液体制造电子元件前体。

主权项

1.用于制造电子元件前体的方法，该方法包括：a)把电子元件前体放在有顶和底的反应容器中；b)在反应容器中引入反应性化学加工液体；c)使所说电子元件前体与反应性化学加工液体接触一定时间；d)向反应容器中引入非反应性加工液体直接替换反应性化学加工液体，其中所说的非反应性加工液体从反应容器的底部引入，且温度较反应性化学加工液体至少低5℃；和e)从反应容器中除去所说非反应性加工液体；其中步骤b)到d)可以反复进行。