| 主权项 |
1．一种薄膜制作装置，其特征在于，它包括：一夹具舱移动部(60)，它包括一被水平支承的导轨(61)，带有移动轮(63)的、可在所述导轨(61)上水平移动的垂直旋转轴支架(62)；上端固定在垂直旋转轴支架(62)上的垂直旋转轴(11)；一垂直旋转轴连接架(13)，其固定端(131)连接在垂直旋转轴(11)上，其盘状的两侧端(132,132′)被多个支架(133)连接在一起；安装在垂直旋转轴连接架(13)上的水平旋转轴(12,12′)；对称设置的夹具舱(10)，它们分别包括安装在水平旋转轴(12,12′)上、并将垂直旋转轴连接架(13)的两侧端(132,132′)夹在中间的夹具舱盖(14,14′)，以及固定连接在夹具舱盖(14,14′)上的基板支架舱(15,15′)；工作舱(20)，它上部与移动导轨(61)固定连接，下部与工作舱支架(51)和薄膜移动支架(50)固定连接；薄膜制作部(30)，它包括与工作舱(20)下部连接的薄膜移动支架(50)，可在薄膜移动支架(50)上移动的薄膜制作移动部(70)，与薄膜制作移动部(70)固定连接的、上面设有插入孔的工作舱盖(31)，以及固定在工作舱盖(31)上的、具有多边形中空构造的固定支架(32)；以及固定安装在固定支架(32)上端的真空镀膜装置(33)、外侧上的溅镀装置(34)、离子镀装置(35)、离子注入装置(36)、紫外线辐射装置(37)、等离子体蚀刻装置(38)中的至少一种装置。 |
