| 摘要 |
Dans un dispositif de revetement d'un substrat par atomisation de la surface d'une cible tubulaire tournante (2) à l'aide d'énergie électrique, des pièces polaires (3, 4,5) en matériau magnétiquement conducteur sont disposées à l'intérieur de la cible (2). A l'extérieur de la cible (2) est prévu un corps en matériau magnétiquement conducteur (7), lequel possède trois pièces polaires (8,9,10) orientées vers le corps creux (1), qui sont relièes ensemble par des aimants (12,13) transmettent le champ magnétique aux pièces polaires (3,4,5) disposées à l'intérieur de la cible (2) à travers la cible (2) via des fentes étroites (6,11).
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