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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号
DE59800920(D1)
申请公布日期
2001.08.02
申请号
DE19985000920
申请日期
1998.05.14
申请人
WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG
发明人
HUBER, ANTON;DREXLER, ROBERT
分类号
B24B1/00;B24B7/16;B24B7/22;B24B37/04;B24B41/06;(IPC1-7):B24B37/04
主分类号
B24B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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