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发明名称 Wässrige, Ammoniak enthaltende, Zusammensetzung für die Reinigung von Halbleitersubstraten
摘要
申请公布号 DE69329883(T2) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 DE19936029883T 申请日期 1993.03.05
申请人 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.;KANTO KAGAKU K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MORIKAWA, FUMIHIRO;YOSHIKAWA, AKIHISA;ISHIKAWA, NORIO;SHIHOYA, TAKAO
分类号 C11D10/02;C11D1/28;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C11D10/02
代理机构 代理人
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