发明名称 METHOD FOR MONITORING A MANUFACTURING PROCESS
摘要 Die Erfindung stellt ein Verfahren zur Überwachung von Herstellungsprozessen bereit, das durch eine Linearkombination von Messgrössen mit geeignet gewählten Gewichten ein für die Bestimmung der jeweiligen Kenngrösse geeignetes (optimales) Signal erzeugt. Dadurch wird die Extraktion der Kenngrösse aus den Messgrössen deutlich vereinfacht und in vielen Fällen überhaupt erst möglich. Durch das erfindungsgemässe Verfahren ist es nun möglich, grosse Datenmengen so aufzubereiten, dass die entscheidenden Informationen (Kenngrössen) nahezu in Echtzeit bzw. in Echtzeit aus den Daten gewonnen werden können.
申请公布号 WO0156072(A1) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 WO2000DE00249 申请日期 2000.01.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;BELL, FERDINAND;KNOBLOCH, DIRK;ZIMPEL, JAN;VOIGTLAENDER, KNUT 发明人 BELL, FERDINAND;KNOBLOCH, DIRK;ZIMPEL, JAN;VOIGTLAENDER, KNUT
分类号 G01N21/25;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/00 主分类号 G01N21/25
代理机构 代理人
主权项
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