| 主权项 |
1.经化学放大之正光阻组成物,其包含 (A)有机溶剂, (B)基底树脂,其为具有下列通式(1)循环单位之聚合 物形式: 其中R1为氢原子或甲基,R2及R3为不同的酸不稳定基 ,其中R2为下列通式(2)之基团: 其中R4及R5乃各自由氢原子及具1至6个碳原子之正 链或支链烷基中所择定,R6为具1至10个碳原子之正 链,支链或环状烷基,且 R3系由下列通式(3)基团、四氢喃基、四氢喃 基,及三烷基甲矽烷基中所择定, 其中R7为具1至6个碳原子之正链或支链烷基,字母b 相当于0或1, 字母p,d及r为满足0.02≦p/(p+q+r)≦0.5,0.01≦q/(p+q+r)≦ 0.3,0<(p+q)/(p+q+r)≦0.8之正数,字母a为1至3之正数,聚 合物具有3,000至 300,000之重量平均分子量,及 (C)光酸产生剂,其系选自盐,磺酸盐衍生物,及重 氮磺酸盐衍生物。2.根据申请专利范围第1项之光 阻组成物,其更进一步包含(D)溶解速率调节剂。3. 根据申请专利范围第2项之光阻组成物,其中,溶解 速率调节剂(D)为具有100至1,000之重量平均分子量 且于分子中具有至少两个酚性羟基之化合物,酚性 羟基中之氢原子系以1.0%至100%之全部比例被酸不 稳定基所替代。4.根据申请专利范围第2项之光阻 组成物,其中,溶解速率调节剂(D)为具有1,000至3,000 之重量平均分子量且于分子中具有一个酚性羟基 之化合物,酚性羟基中之氢原子系以大于0%至60%之 全部平均比例被酸不稳定基所部分替代。5.根据 申请专利范围第2项之光阻组成物,其中,溶解速率 调节剂(D)为(D-1)及(D-2)之混合物,其中(D-1)为具有100 至1,000之重量平均分子量且于分子中具有至少两 个酚性羟基之化合物,酚性羟基中之氢原子系以10% 至100%之全部平均比例被酸不稳定基所替代,(D-2)为 具有大于1,000至3,000之重量平均分子量且于分子中 具有一个酚性羟基之化合物,酚性羟基中之氢原子 系以大于0%至60%之全部平均比例被酸不稳定基所 部分替代。6.根据申请专利范围第3或5项之光阻组 成物,其中具有100至1,000之重量平均分子量且于分 子具有至少两个酚性羟基之化合物系为由下列通 式(6)至(16)化合物中所择定之至少一员: 其中R12及R13乃各自由氢及具1至8个碳原子之正链 或支链烷基或烯基中所择定, R14由氢,具1至8个碳原子之正链或支链烷基及烯基, 及(R18)s-COOH中所择定, R15系由-(CH2)t(其中t为2至10)、具6至10个碳原子之伸 芳基、羰基、磺醯基、氢原子及硫原子中所择定, R16系由具1至10个碳原子之伸烷基、具6至10个碳原 子之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子及硫原子中 所择定, R17系由氢原子、具1至8个碳原子之正链或支链烷 基、烯基、经羟基取代之苯基及基中所择定, R18为具1至10个碳原子之正链或支链烯基, 字母k为0至5之整数, s为0或1, m,n,m′,n′m〞及n〞为满足m+n=8, m′+n′=5,及m〞+n〞=4之数,使得至少有一 个羟基接合至每个苯基骨架上,且 为使得通式(13)或(14)化合物可具有100至1,000分子 量之数。7.根据申请专利范围第4或5项之光阻组成 物,其中具有大于1,000至3,000之重量平均分子量且 分子中具有一个酚性羟基之之化合物系为由具下 列通式(17)循环单位之化合物中所择定之至少一员 ; 其中R为酸不稳定基.字母c及d为满足0≦c/(c+d)≦0.6 之数。8.根据申请专利范围第1项之光阻组成物,其 中R2为烷氧烷基,R3为特丁氧羰基。9.根据申请专利 范围第1项之光阻组成物,其更进一步包含作为添 加剂之(E)硷性化合物。10.根据申请专利范围第1项 之光阻组成物,其中,基底树脂(B)为具有1.0至1.5分 散度之单分散聚合物。11.根据申请专利范围第1项 之光阻组成物,其中,光酸产生剂(C)为盐。图式 简单说明: 第一图为展示合成实例4所得之聚合物之胶渗透色 层分离(GPC)洗提曲线。 |
