发明名称 Method for making diaphragm-based sensors and apparatus constructed therewith
摘要
申请公布号 EP1098181(A3) 申请公布日期 2001.08.01
申请号 EP20010200463 申请日期 1992.02.06
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 MIRZA, AMIR R.;STRATTON, THOMAS G.;SAATHOFF, DIEDRICH J.;CARNEY, JAMES K.;HOCKER, BENJAMIN G.;BURNS, DAVID W.;AKINWANDE, AKINTUNDE I.;HORNING, ROBERT D.
分类号 G01L9/04;B81C1/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00;H01L21/32;H01L21/762 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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