发明名称 Atomic layer epitaxy of compound semiconductor
摘要
申请公布号 EP1119029(A3) 申请公布日期 2001.08.01
申请号 EP20010100180 申请日期 1992.07.09
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SAKUMA, YOSHIKI;OZEKI, MASASHI;KODAMA, KUNIHIKO;OHTSUKA, NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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