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发明名称 ELASTOMER BONDED PARTS FOR PLASMA PROCESSES AND METHOD FOR MANUFACTURE AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 KR20010071688(A) 申请公布日期 2001.07.31
申请号 KR1020007015010 申请日期 2000.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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