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发明名称
APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号
KR20010072886(A)
申请公布日期
2001.07.31
申请号
KR1020017002296
申请日期
2001.02.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
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