| 摘要 |
A találmány tárgya eljárás félvezetőkben lévő kisebbségitöltéshordozók rekombinációs élettartamának a mérésére oly módon, hogya félvezető anyagot (6) célszerűen megválasztott (a félvezető anyagtiltott sávjánál nagyobb energiájú) fényforrással impulzusszerűenmegvilágítják, és a félvezető anyagban (6) a mikrohullámú reflexiónaka fény hatására keletkező kisebbségi töltéshordozók által okozottváltozását az idő függvényében úgy detektálják, hogy a mikrohullámúvezetőt a vizsgálandó mintával közvetlen kontaktusba hozzák. Atalálmány lényege, hogy a mikrohullámot koaxiális kábelen avizsgálandó minta térfogat közvetlen közelébe vezetik és kontaktusrévén a mikrohullámot az anyagba becsatolják. Ezáltal a mikrohullámúreflexió a kontaktusmentes eljárásokhoz képest jelentősen kisebbtérrészből következik be. A mikrohullámú reflexió által érzékelttérfogat jellemzően a megvilágított, kb. 1 mm-es átmérőjű foltkörnyezetére szűkíthető. Ennek következtében a korábbi eljárásoknáljelentősen jobb érzékenység illetve jel/zaj viszony érhető el. Atalálmány szerinti berendezés tartalmaz egy varaktorral (1) hangolhatómikrohullámú jelgenerátort (2), amelynek kimenete egy izolátor (3)bemenetére van elvezetve, amelynek kimenete koaxiális kábelenkeresztül van egy cirkulátor (4) első kapujára csatlakoztatva. Acirkulátor (4) második kapuja szintén koaxiális kábelen keresztül vanegy érintkezőtűre (5) vezetve, míg a cirkulátor (4) harmadik kapujakoaxiális csatlakozón keresztül van egy detektorra (8), elvezetve. Azérintkezőtű (5) a mikrohullámú teret a félvezető anyagra (6) vezeti.Az érintkezőtű (5) a félvezető anyaggal (6) érintkezik, és a félvezetőanyag (6) képezi a mikrohullámú útvonal lezáró impedanciáját, és enneka változását mérik. Ó |
