TEMPERATURE CONTROL SYSTEM FOR A THERMAL REACTOR,申请号KR1020007012606-传众专利搜索

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发明名称	TEMPERATURE CONTROL SYSTEM FOR A THERMAL REACTOR
摘要
申请公布号	KR20010071235(A)	申请公布日期	2001.07.28
申请号	KR1020007012606	申请日期	2000.11.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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