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发明名称 MEANS FOR CONTROLLING TARGET EROSION AND SPUTTERING IN A MAGNETRON
摘要
申请公布号 KR20010071129(A) 申请公布日期 2001.07.28
申请号 KR1020007010802 申请日期 2000.09.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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