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发明名称 TANTALUM SPUTTERING TARGET AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 KR20010071334(A) 申请公布日期 2001.07.28
申请号 KR1020007013343 申请日期 2000.11.27
申请人 发明人
分类号 C22B34/24 主分类号 C22B34/24
代理机构 代理人
主权项
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