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发明名称 Kammer und Verfahren zur Oberflächenprüfung von Siliciumscheiben
摘要
申请公布号 DE19825226(C2) 申请公布日期 2001.07.26
申请号 DE19981025226 申请日期 1998.06.05
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 KLUGE, ANDREAS;ZIELONKA, GERHARD
分类号 G01N1/02;G01N1/34;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/306;G01N21/31;B01L1/04;B01L7/00;C30B33/12 主分类号 G01N1/02
代理机构 代理人
主权项
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