| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Speichervorrichtung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19720202(C2) |
申请公布日期 |
2001.07.26 |
| 申请号 |
DE19971020202 |
申请日期 |
1997.05.14 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORP., HSINCHU CITY |
发明人 |
CHAO, FANG-CHING |
| 分类号 |
H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
