发明名称 METHOD FOR THE TRANSFER OF THIN LAYERS OF MONOCRYSTALLINE MATERIAL ONTO A DESIRABLE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1118108(A1) 申请公布日期 2001.07.25
申请号 EP19990948900 申请日期 1999.09.29
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 GOESELE, ULRICH;TONG, QUIN-YI
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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