发明名称 单电荷态ECR离子源
摘要 本实用新型涉及一种单电荷态ECR离子源,包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒;磁铁部分为永磁体,在弧腔内设有双层水冷;在微波窗前设有微波产生及传输装置;本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永磁体可避免对永磁体的腐蚀,另用永磁体代替线包,可减少调节量、降低造价,另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本。
申请公布号 CN2440264Y 申请公布日期 2001.07.25
申请号 CN99256174.4 申请日期 1999.12.31
申请人 中国科学院近代物理研究所 发明人 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳
分类号 H01J37/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 中国科学院兰州专利事务所 代理人 王玉双
主权项 1、一种单电荷态ECR离子源,包括微波窗(1)、磁铁部分(2)、弧腔(4)、等离子体电极(5)、吸极(6)、绝缘环(7)和法拉第筒(8);其特征在于所述的磁铁部分(2)为永磁体,在弧腔(4)内设有双层水冷;在微波窗(1)前设有微波产生及传输装置(14)。
地址 730000甘肃省兰州市南昌路363号