发明名称 | 单电荷态ECR离子源 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种单电荷态ECR离子源,包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒;磁铁部分为永磁体,在弧腔内设有双层水冷;在微波窗前设有微波产生及传输装置;本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永磁体可避免对永磁体的腐蚀,另用永磁体代替线包,可减少调节量、降低造价,另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本。 | ||
申请公布号 | CN2440264Y | 申请公布日期 | 2001.07.25 |
申请号 | CN99256174.4 | 申请日期 | 1999.12.31 |
申请人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明人 | 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳 |
分类号 | H01J37/08 | 主分类号 | H01J37/08 |
代理机构 | 中国科学院兰州专利事务所 | 代理人 | 王玉双 |
主权项 | 1、一种单电荷态ECR离子源,包括微波窗(1)、磁铁部分(2)、弧腔(4)、等离子体电极(5)、吸极(6)、绝缘环(7)和法拉第筒(8);其特征在于所述的磁铁部分(2)为永磁体,在弧腔(4)内设有双层水冷;在微波窗(1)前设有微波产生及传输装置(14)。 | ||
地址 | 730000甘肃省兰州市南昌路363号 |