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发明名称 LOW-PRESSURE APPARATUS AND PRESSURE CONTROL VALVE
摘要
申请公布号 EP1118102(A1) 申请公布日期 2001.07.25
申请号 EP20000943930 申请日期 2000.06.28
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VAN DE KERKHOF, ANTONIUS, M., C., P., L.
分类号 F16L55/00;C23C16/455;F16K3/32;F16K3/34;F16K51/02;G05D16/20;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F16L55/00
代理机构 代理人
主权项
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