发明名称 Copolymers containing n-vinyllactam derivatives, preparation methods thereof and photoresists therefrom
摘要
申请公布号 GB2320500(B) 申请公布日期 2001.07.25
申请号 GB19970008958 申请日期 1997.05.01
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.;* KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 JIN BAEK * KIM;MIN HO * JUNG;JONG HO * CHEONG
分类号 C08F212/00;C08F212/14;C08F220/12;C08F226/06;C08F230/08;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):C08F212/04 主分类号 C08F212/00
代理机构 代理人
主权项
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