| 发明名称 |
CSP PLATE CUTTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG82030(A1) |
申请公布日期 |
2001.07.24 |
| 申请号 |
SG19990005450 |
申请日期 |
1999.11.03 |
| 申请人 |
DISCO CORPORATION |
发明人 |
MASAHIRO YOSHII;SHINICHI NAMIOKA;MASAKADO KAMIGAKI |
| 分类号 |
H01L21/78;B28D5/00;H01L21/00;H01L21/673;(IPC1-7):B26D1/02;B26D7/06 |
主分类号 |
H01L21/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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