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发明名称 ILLUMINANCE METER, ILLUMINANCE MEASURING METHOD USING THEREWITH AND EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 SG82088(A1) 申请公布日期 2001.07.24
申请号 SG20000005493 申请日期 2000.09.26
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 TOSHIHIKO TSUJI
分类号 H01L21/027;G01J1/42;G03F7/20;(IPC1-7):G01J1/02;G03B27/74 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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