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发明名称 METHOD FOR PRODUCING INSULATOR FILM
摘要
申请公布号 SG81991(A1) 申请公布日期 2001.07.24
申请号 SG19990002568 申请日期 1999.05.25
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ISHIZUKA SHUICHI
分类号 C23C16/22;C23C16/56;(IPC1-7):C23C16/22 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
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