发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号 DE1300161(B) 申请公布日期 1969.07.31
申请号 DE1967S113223 申请日期 1967.12.09
申请人 SIEMENS AG 发明人 WARTENBERG;KLAUS DR. RER. NAT.
分类号 H01L21/00;H01L21/22 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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