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经营范围
发明名称
Verfahren zum Herstellen von Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号
DE1300161(B)
申请公布日期
1969.07.31
申请号
DE1967S113223
申请日期
1967.12.09
申请人
SIEMENS AG
发明人
WARTENBERG;KLAUS DR. RER. NAT.
分类号
H01L21/00;H01L21/22
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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